复合式光学量测系统整合雷射与IR系统进行量测, 包含哪些功能?

为复合式光学量测系统整合雷射与IR系统进行量测, 包含有以下功能:

1.Wafer 切割道 IR 检测
2.穿透式多层膜厚量测
3.Wafer 厚度, TTV, WARP