自动化晶圆复判/抽检量测与检测 升级各种制程产线的复判为全自动化模式(上料/定位/拍照/存图) 提供各种瑕疵地图转换与导入 自动化量测功能, 自动进行CD/Overlay计算 (搭配100x以上物镜) 自动读码, 将复判/抽检资讯与MES连线,自动上传 具有AI自动化复判升级功能, 提升复判准确率 内建图像离线资料库软件, 可人工离线分析
上料机 | 请参考本公司Kino系列规格 Kino L460/M460/L680/M680 |
光学系统 | 可搭配我司所有3D量测仪/光学显微镜系列设备 |
软件功能 | 瑕疵地图坐标读取(对应KLA,Camtek等...), 与自动对位 |
瑕疵地图资讯筛选与自动拍照, 存档 | |
自动图像测量：CD 、Overlay | |
AI 自动瑕疵抓取与分类功能 | |
瑕疵地图图片数据库 | |
自动光源调整系/自动图像摄像功能/自动定位测量 |
AI瑕疵判定
上料机 | 请参考本公司Kino系列规格 Kino L460/M460/L680/M680 |
光学系统 | 可搭配我司所有3D量测仪/光学显微镜系列设备 |
软件功能 | 瑕疵地图坐标读取(对应KLA,Camtek等...), 与自动对位 |
瑕疵地图资讯筛选与自动拍照, 存档 | |
自动图像测量：CD 、Overlay | |
AI 自动瑕疵抓取与分类功能 | |
瑕疵地图图片数据库 | |
自动光源调整系/自动图像摄像功能/自动定位测量 |
AI瑕疵判定
