带膜带铁框(Frame wafer)晶圆瑕疵量测

框架尺寸 for 12”/8”/6”Wafer - 单一尺寸 可分拣卡匣 Slot 25 /Slot 13 /Slot 12 可选择的挑选检查模式或是顺序检查模式 读取 Frame ID 搭配2D & 3D A01光学显微镜系统 陶瓷真空载台 可搭配导入 KLA File 系统