晶圆手臂分拣传送设备

可分拣卡匣: PP,PFA,Metal,PC ,13 Slot / 25Slot 非接触式 Pre-aligner 及 Wafer ID 读取 晶圆前端模块传送系统(EFEM) Sorter & EFEM System 多工系统: 可同时Sorter 及EFEM 传送到后端机台 EAP SEMI-E84: OHT 天车系统/ AGV 自动车 RFID : RFID Read / Write 读写系统 SECS / GEM 3000