桌上型传送机

自制小型化设计, 主要是整合到工业显微镜与AOI系统, 以及其他需要从晶圆盒进行传送之应用, 4/8寸与6/8寸可选;内含Pre-Aligner/可选配OCR。 主要功能: 晶圆传送 2~8 inch 边缘对位 巨观人员检查:360度选转 晶背检查:可翻转 功能特色: 具有SEMS认证及CE认证 特别开发应用于第三代半导体材料 克服透明与半透明材料的寻边对位 可对150um晶圆进行传送 应用方式 : 可搭配各式设备进行传送如 桌上型显微镜 (Leica, Nikon, etc..) 3D量测设备 膜厚量测仪 Wafer AOI设备 4PP 探针量测设备 激光刻印设备