全自动晶圆智能量测显微镜系统

双工位, 晶圆传送装置(不需晶圆手臂, 可分类) OCR, Pre-aligner功能 上位机坐标档案读取/写入. Wafer读取坐标移动功能. 坐标定位,自动拍照功能. Image量测后上传系统. 自动显微量测系统可进行CD / Overlay 量测 IQC / OQC : Auto 自动拍照 ; Review Defect system