平坦度量测设备

可量测TTV / BOW / Warp. /Roughness / Co-Plan / Stress .等…,3D表面形貌项目,可达到纳米级精度效果的高速大面积平潭度量测设备. 根据线上需求可进行点/线/面式的全面3D量测 全功能的测量扫描与分析界面,可快速得到所需测量结果 干涉光学模块,精度可从1um~0.01um依照需求搭配选择. 平台设计可选择移动龙门(产品不动)与标准XYZ平台(光学头不动) 可搭配图像模块进行其他表面检查功能可适应各种材质,如Si,GaN,SiC,外延片用蓝宝石等…等进行3D量测