纳米颗粒激光检测系统

光学系统: 同时3种通道检测, 可到达分辨率0.1um 高速系统: 6 inch 只要3分钟 复判判断: 内建整合DIC显微镜, 可透过高倍率的方式对于瑕疵进行影像确认与分析. 分类模块: 可针对瑕疵尺寸大小进行分类统计, 后续还可对于不同通道的讯号进行AI瑕疵分类.