CN EN
请输入搜索关键词！
CN/EN
首页 · 产品中心 · 晶圆缺陷检测设备（AOI） ·
晶圆缺陷检测设备（AOI）
晶圆缺陷检测设备（AOI）

应用场景

针对晶圆来料过程、出货检查，可检刮伤、污渍、剥落、破碎等不同缺陷；并以面积长、宽、大小比率、特定灰度值、特定坐标进行分类。

产品优势

  • 操作简单：搭载 AI 检测方案，简化测试操作
  • AI 复判缺陷：AI ADC 自动化复判缺陷
  • 适配度高：全套自研算法，可配合高度客制化
  • 定制整合：可依客户需求整合量测功能
需求咨询


项目 技术参数
晶圆尺寸 4/6/8/12 inch & 300/310mm 方片
分辨率 2.25um@2X, 0.9um@5X, 0.45um@10X
复检倍率 10倍、20倍
检测能力 检测重复性>98.5%、检测率>99%、过筛率<0.5%
光学类型 LED亮场+暗场微观与复检包含红、蓝、绿、白光源进行切换
缺陷类型 划伤、脏污、剥落、破洞、裂纹、圈印、斑点等

热线电话

0512-63372330
关于我们 产品中心 服务支持 加入我们 联系我们
联系我们
微信
关注我们

Copyright © 苏州纬旭智能装备有限公司 版权所有 Powered by Bomin

网站地图 | 法律声明 | 隐私政策 |