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OM 全自动显微镜设备
OM 全自动显微镜设备

应用场景

衬底、集成电路、新型显示、先进封装领域晶圆正背面宏观目检/宏观自动检测，以及微观review。

产品优势

  • 适配性强：适配不同制程后检查
  • 配置灵活：可灵活搭配单宏观/宏观+微观/单微观
  • 文件复判：Klarf 文件导入复判
  • 灵活使用：多种作业模式，灵活使用
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项目 技术参数
晶圆尺寸 4/6/8/12 inch & 300/310mm 方片
产品厚度 400um-1000um
最大翘曲度 ≤500um
显微镜 光学显微镜，支持明暗场切换
物镜 常规物镜5X、10X、20X、50X、100X，IR物镜5X、20X
对焦方式 激光or图像
3D量测 准确性0.5%，重复精度0.1%@1σ

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0512-63372330
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