平坦度量测设备 - 苏州纬旭智能装备有限公司

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平坦度量测设备

晶圆形貌测量设备，专注于晶圆 THICKNESS（厚度）、TTV（总厚度变化）、BOW（弯曲度）、WARP（翘曲度）及 LTV（局部厚度变化）等外形参数测量。

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项目	技术参数
晶圆尺寸	4/6/8/12 inch & 300/310mm 方片
产品厚度	100um～1500um
最大翘曲度	≤1000um
WPH	33s@8inch(米字4线扫描,自动换片) 43s@12inch(米字4线扫描,自动换片)
TTV量测范围	0.1mm-1.5mm
TTV精度	±0.3um
TTV重复性	σ≤0.2um
WARP/BOW精度	±0.5um
WARP/BOW重复性	σ≤0.5um

热线电话

0512-63372330

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